（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201210344083.7 （22）申请日 2012.09.18
（71）申请人 华东光电集成器件研究所
地址 233042 安徽省蚌埠市经济开发区财院路10号
（10）申请公布号 CN102967729A
（43）申请公布日 2013.03.13
（72）发明人 王鹏;郭群英;汪祖民;何凯旋;陈博;陈璞;王文婧;黄斌;徐栋;吕东锋 （74）专利代理机构 安徽省蚌埠博源专利商标事务所
代理人 杨晋弘
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种压阻式MEMS加速度计
（57）摘要
本发明一种压阻式MEMS加速度计，其特
征在于它由第一质量块（4）、第二质量块（6）以及玻璃衬底（10）通过键合连接组成，第一质量块（4）中设有悬臂梁（9），悬臂梁上制有压敏电阻（2）及铝引线（3），第二质量块（6）设有加强链（8）。本发明具有如下优点：将梁-岛式结构与加强链式结构结合在一起，实现了较高的灵敏度与较高的固有频率；加强链式结构有效的提高了加速度计的抗冲击能力，避免了恶劣环
境下加速度计的失效问题，并能够承受更高的横向加速度，降低了交叉轴灵敏度，进一步提高了加速度计性能。
法律状态
法律状态公告日
2013-03-13 2013-04-10 2015-11-04
法律状态信息
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的驳回法律状态
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的驳回
权利要求说明书
一种压阻式MEMS加速度计的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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