专利名称：光阻脱除剂和电子元件及其制造方法专利类型：发明专利发明人：朱翊祯,卢厚德申请号：CN202010965226.0申请日：20141107公开号：CN112130428A公开日：20201225
摘要：一种光阻脱除剂，包括由式1表示的醇醚类化合物、选自式2表示的化合物、式3表示的化合物及其混合物的极性溶剂以及至少一种由式4表示的仲醇胺或叔醇胺，其中n为1～3的整数；R为C‑C烷基；R各自独立为氢或甲基；X和X可分别为C‑C亚烷基、C‑C亚烯基、>R‑COOH或>ROH，其中R为C‑C连结基，R为C‑C连结基；R为H、C‑C烷基或‑ROH，其中R为C‑C连结基；R和R分别为C‑C亚烷基，且Y和Y可分别为H或‑OH，且R、Y和Y中的至少一者含有‑OH。
申请人：达兴材料股份有限公司
地址：中国台湾台中市
国籍：CN
代理机构：北京市柳沈律师事务所
代理人：秦剑
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容