专利名称：静电卡盘装置专利类型：发明专利发明人：小坂井守,三浦幸夫申请号：CN201580063056.4申请日：20151119公开号：CN107004626A公开日：20170801
摘要：本发明提供一种静电卡盘装置，在本发明中，所述静电卡盘装置具备分割为多个的加热器，可以以简单的结构对由各加热器所加热的区域进行均匀的温度控制。本发明静电卡盘装置中，具备：静电卡盘部，在一主面上具有载置板状试料的载置面，并且具备静电吸附用电极；温度调节用基座部，相对于所述静电卡盘部而配置于与所述载置面相反的一侧，对所述静电卡盘部进行冷却；高频产生用电极，以层状配置于所述静电卡盘部与所述温度调节用基座部之间；高频电源，连接于所述高频产生用电极；第1加热元件，包括以层状配置于所述高频产生用电极与所述温度调节用基座部之间的多个主加热器；及保护电极，以层状配置于所述高频产生用电极与所述第1加热元件之间。
申请人：住友大阪水泥股份有限公司
地址：日本国东京都
国籍：JP
代理机构：上海立群专利代理事务所(普通合伙)
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