[干货]有效减少扫描电镜荷电效应的几种方法
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发布时间：2024-12-20 11:11
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时间：2024-12-20 15:19
扫描电子显微镜（SEM），集电子光学、真空、机械及计算机控制技术于一体，广泛应用于化工、材料、刑侦等领域，以其高分辨率、良好景深和简单操作受到青睐。
然而，在扫描电镜测试中，荷电效应可能使图像变得模糊不清，影响观察结果。荷电效应主要发生在非导电或导电不良、接地不佳的样品观察中。电子束照射样品表面时，形成电荷积累，产生静电场干扰入射电子束和二次电子发射，从而影响观察。
荷电效应的危害包括异常反差、图像畸变、图像漂移、亮点与亮线以及图像“很平”丧失立体感等。为减少荷电效应，可采取以下几种方法：
缩小样品尺寸和降低接触电阻，增加试样导电性。通过镀膜改变样品表面导电性能，如溅射金膜、铂膜或碳膜，使电荷能通过样品台流出，是常用方法。然而，控制膜厚以避免掩盖样品形貌或影响成分分析是难点。
调节加速电压，使其处于二次电子产率最低点，从而消除荷电效应。但寻找Vα1或Vα2点困难，需依据样品分辨率调整加速电压。
减小束流强度和放大倍数，加快扫描速度，以及改变图像采集策略，如线积累或帧叠加平均，有助于减少荷电效应。调节样品倾斜角，调整二次电子产额，使其接近1，也能有效减少荷电。
总结而言，通过上述方法，可以有效减少扫描电镜测试中的荷电效应，提升观察质量。实践中，应根据样品特性灵活选择和调整策略，以达到最佳观察效果。
